破解芯片制造“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”難題

上海3項(xiàng)晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)獲國(guó)家級(jí)認(rèn)定

本報(bào)訊 （丁文婷）近日，經(jīng)上海市市場(chǎng)監(jiān)管局審批通過(guò)，同濟(jì)大學(xué)國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌）在集成電路標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)方面取得新突破，3項(xiàng)晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書(shū)。

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是化學(xué)、生物等專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域統(tǒng)一量值、開(kāi)展量值傳遞溯源的主要載體，發(fā)揮著“測(cè)量砝碼”的重要作用，是國(guó)家重要戰(zhàn)略資源。通俗地講，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是用來(lái)衡量檢測(cè)結(jié)果是否準(zhǔn)確的“尺子”。2023年，上海在全國(guó)率先承接國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)鑒定審批權(quán)，在浦東新區(qū)和奉賢區(qū)試點(diǎn)，頒發(fā)全國(guó)首張省級(jí)市場(chǎng)監(jiān)管部門(mén)審批的國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)證書(shū)。2025年7月，市場(chǎng)監(jiān)管總局充分肯定上海改革成果，將二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)改革經(jīng)驗(yàn)推廣復(fù)制至上海全域以及內(nèi)蒙古、湖南、四川部分地區(qū)。

此次獲證的3項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)為八英寸晶圓級(jí)100nm（納米）一維光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)200nm二維柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)100nm凹陷缺陷標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。這批標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可為集成電路檢測(cè)設(shè)備提供可靠的量值標(biāo)準(zhǔn)，有效支撐周期測(cè)量、角度測(cè)量及典型缺陷檢測(cè)等應(yīng)用需求。隨著集成電路制造向先進(jìn)節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，芯片上的結(jié)構(gòu)越來(lái)越小，傳統(tǒng)幾何量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)多基于小尺寸襯底加工，更適用于實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)景，難以滿(mǎn)足集成電路自動(dòng)化檢測(cè)需求。此次獲證的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可幫助我國(guó)量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)與晶圓制造廠(chǎng)解決“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”的產(chǎn)業(yè)難題，對(duì)提升我國(guó)集成電路微納檢測(cè)設(shè)備的計(jì)量測(cè)試能力、完善產(chǎn)業(yè)計(jì)量技術(shù)體系具有重要支撐意義。

國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌）以同濟(jì)大學(xué)為主體，聯(lián)合張江實(shí)驗(yàn)室籌建，在上海市市場(chǎng)監(jiān)管局指導(dǎo)推動(dòng)下于2024年起開(kāi)展建設(shè)，是全國(guó)集成電路領(lǐng)域首批獲批籌建的國(guó)家產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心之一。該中心圍繞集成電路制造中的典型結(jié)構(gòu)與缺陷，重點(diǎn)開(kāi)展了上述3項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制與應(yīng)用研究。

試點(diǎn)以來(lái)，上海市市場(chǎng)監(jiān)管局通過(guò)創(chuàng)新開(kāi)展涵蓋技術(shù)能力、原始數(shù)據(jù)、計(jì)量溯源性、生產(chǎn)流程合規(guī)性等全要素現(xiàn)場(chǎng)審評(píng)，積極發(fā)揮專(zhuān)家“技術(shù)管家”作用，推動(dòng)和優(yōu)化智能審批服務(wù)、幫辦服務(wù)、電子證書(shū)同步制發(fā)、證書(shū)免費(fèi)郵寄送達(dá)等舉措。截至目前，上海已頒發(fā)國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書(shū)41張，覆蓋標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)56項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)上市進(jìn)度加快，進(jìn)一步吸引產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)加入標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研發(fā)產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)組織方式不斷創(chuàng)新，尤其對(duì)上海集成電路、生物制造、生命健康、先進(jìn)材料等先導(dǎo)、重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展有積極意義。

此前，上海已研制的滅活基孔肯雅病毒標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是國(guó)內(nèi)首個(gè)針對(duì)該病毒的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，為疫情防控提供重要支撐；赭曲霉毒素純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)行業(yè)空白，推進(jìn)了真菌毒素標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程；紫外、可見(jiàn)光區(qū)波長(zhǎng)溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)既可廣泛應(yīng)用于制藥、醫(yī)療、食品、環(huán)保等行業(yè)的檢測(cè)領(lǐng)域，也是國(guó)內(nèi)首個(gè)紫外可見(jiàn)全波長(zhǎng)檢定/校準(zhǔn)溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)；中國(guó)倉(cāng)鼠卵巢細(xì)胞基因組DNA標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)有助于提高產(chǎn)業(yè)鏈中DNA殘留量檢測(cè)的準(zhǔn)確度，提升抗體藥物、重組蛋白藥物、疫苗等生物制品生產(chǎn)公司的產(chǎn)品質(zhì)量，有利于解決生物制品生物安全問(wèn)題以及國(guó)際貿(mào)易中的技術(shù)壁壘問(wèn)題。